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平面平晶是用于以光波干涉法測量塊規(guī)，以及檢驗塊規(guī)、量規(guī)、零件密封面測量儀器及測量工具量面的研合性和平面度的工具。平面平晶分為單、雙工作面平晶。按照用途也可分為標準平晶和工作平晶兩大類。工作平晶分為1，2級，標準平晶分為1，2級。其外形見圖

乾曜光學提供普通精度的平面標準鏡和超精密球面標準鏡，均包含平面透射標準鏡和平面反射標準鏡。有效口徑有150mm（6英寸），100mm (4英寸），60mm，30mm。150mm和100mm口徑鏡頭與Zygo通用，60mm和30mm口徑鏡頭與富士通用。