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       超精密球面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡的表面面形經(jīng)過精密測量，可以認(rèn)為是絕對球面，凹凸面均可選擇。 球面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡的數(shù)據(jù)文件儲存為Zygo干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)格式，在Zygo干涉儀的數(shù)據(jù)中能夠移 除標(biāo)準(zhǔn)球面的誤差，這樣測試精度能夠達(dá)到PV<λ/30@632.8nm，定制產(chǎn)品可達(dá)到PV<λ/50@ 632.8nm.