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◇包含五維調(diào)整架，導(dǎo)軌系統(tǒng)， 和光柵尺（測(cè)量曲率）。
◇五維調(diào)整架附帶可調(diào)同軸透鏡座， 最大夾持Φ160mm。
◇X,Y,Z精調(diào)行程均為25mm。
◇±3°傾斜調(diào)整。