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平面樣品測(cè)試調(diào)整架

 ◇用于安裝標(biāo)準(zhǔn)鏡；

◇±3°傾斜調(diào)整； 

◇俯仰調(diào)整架有101.6mm(4英寸）和152.4mm(6英寸）可選，卡口設(shè)計(jì)，與Zygo4英寸或6英寸鏡頭兼容；
◇可安裝在干涉儀主機(jī)上，也可作為五維調(diào)整架的俯仰機(jī)構(gòu)。