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"素繪"300U大口徑立式激光干涉儀
嚴(yán)格情況下,要求按照元件的使用狀態(tài)測量,例如很多窗口、反射鏡和半導(dǎo)體晶圓等。素繪300U的通光口徑為300mm。為鏡頭上置、光路向下的結(jié)構(gòu),適合對樣品的平放測量。
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